我公司生产的硅烷燃烧塔，主要用于单晶硅、多晶硅行业生产中产生的硅烷尾气净化。该设备的成功应用，主要是我公司技术人员对国外半导体行业净化硅烷尾气技术方面的消化吸收，来满足国内太阳能、光能行业，半导体行业及CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷气体净化。